研究会
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2012年度第2回ナノインプリント技術研究会共催
荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会
第201回研究会 開催通知
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| 日程 |
6月15日（金） 13:00-17:30 受付 12:20〜 |
| 会場 |
弘済会館4F会議室「菊」
http://www.kousaikai.or.jp/kousai/access.html
東京都千代田区麹町5-1 （TEL: 03-5276-0333）
JR総武線・中央線・営団地下鉄丸の内線「四ツ谷駅」下車 徒歩5分 |
| 参加方法 |
ナノインプリント技術研究会会員は無料。
会員の方には、メールで5月24日にご案内をお送りします。 |
プログラム |
1. 13:00-13:45
「ＥＩＰＢＮ 2012国際会議報告（ナノインプリント関連）」
谷口 淳 （東京理科大学）
2. 13:45-14:30
「ＥＩＰＢＮ 2012国際会議報告（電子・イオンビーム関連）」
松井 真二 （兵庫県立大学）
3. 14:30-15:15
「走査プローブ顕微鏡によるナノインプリント評価」
岡田 真 （兵庫県立大学）
15:15-15:30 休 憩
4. 15:30-16:15
「ダブルパターニングの最新動向」
八重樫 英民 （東京エレクトロン（株））
5. 16:15-17:00
「集束ガスイオンビーム装置の開発とマスクリペアへの応用」
八坂 行人 （エスアイアイ・ナノテクノロジー（株））
6. 17:00-17:30 総合討論
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