13:05-13:35
「EIPBN 2015 報告」(30分)
岡田 真(兵庫県立大学)
13:35-14:35
「半導体製造用ナノインプリントシステム」(60分)
伊藤 俊樹(キヤノン)
14:35-14:50 Coffee Break
14:50-15:50
「ナノインプリントによるL/S10µm以下の銅/ポリイミド3層配線基板の作製」 (60分)
鈴木 健太(産業技術総合研究所)
15:50-16:50
「リキッドトランスファー法を用いたナノインプリント残膜制御の現状」 (60分)
海野 徳幸(東京理科大)
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